循環式真空泵的水垢成因大致包含以下幾點：

　　1.受熱分解：含有硬度成分的循環水進入真空泵后，隨泵的旋轉在泵體內形成水環做功發熱，使溶解在水中的重碳酸鹽逐漸分解，析出難溶于水的沉淀而結成水垢。

　　2.溶解度降低：負溶解度溫度系數鹽類隨著循環水水溫的升高而降低溶解度因此析出沉淀形成結垢。

　　3.相互反應：循環水中原本溶解度較大的鹽類，在真空泵的運行過程中，和其他鹽類發生物理化合反應形成難溶物質而形成水垢。

　　4.蒸發和濃縮。由于循環水不斷做功發熱，不可避免地要產生蒸發和濃縮，使水中溶解鹽的濃度不斷增大，達到飽和時析出沉淀形成水垢。

　　循環式真空泵的垢層分析：

　　運行中的真空泵，產生的水垢包括鹽垢和污垢，其成分因水源不同而各不相同。污垢的大危害是使過水斷而降小、水流阻力增大，影響正常供水量，降低熱交換效率，水溫不斷提高，鹽垢結成速度加快。有時甚會造成垢下腐蝕，污垢沉積嚴重時還會導致真空泵聲音異常、效率下降或卡死葉輪事故停機、污垢的來源因時因地而異，實際操作中要認真分析是否有廢水流入，水源是否有泥沙、灰塵、煤泥或其他造成水質污染的原因。

　　循環式真空泵的結垢處理：

　　循環水的水質和運行溫度超過一定指標是造成真空泵結垢的主要原因。水質指標，尤以水的硬度影響大。為此，必須盡可能降低水的硬度，控制循環水的工作溫度，才能解決真空泵結垢的問題。所以在循環冷卻水運行過程中對各臺泵的回水溫度和回水量進行檢測，以保證各臺泵的正常供水量以及回水溫度不超過40℃的規定。供水量可以用閥門來控制，如果回水溫度超過規定，要采取補充低溫度冷水或用其他散熱降溫的辦法來降低軟化水池內軟化水的溫度。其次，循環式真空泵的泵體排水閥門，除了用于正常排出泵的內積水外，還可以再運行過程中利用泵體運轉的水壓定期沖洗泵內污垢和水造，一方面可以防止污垢積存，另一方面還可以防止水渣轉化為水垢。